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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-01-03在采購(gòu)與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng)。現(xiàn)邀請(qǐng)全國(guó)供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 多（略）競(jìng)價(jià)公告JJ（略）...說(shuō)明：各有關(guān)當(dāng)事人對(duì)競(jìng)價(jià)公告內(nèi)容有異議的，可以在競(jìng)價(jià)截止時(shí)間前通過(guò)規(guī)定途徑提起異議，逾期將視為無(wú)異議，不予受理。采購(gòu)單位：（略）聯(lián)系人：（略）電話：（略）-（略）E-mail：無(wú)傳真：無(wú)聯(lián)系手機(jī)：無(wú)郵編：無(wú)--質(zhì)疑電話：（略）-（略）聯(lián)系電話（異議）（略）：多（略）競(jìng)價(jià)編號(hào)：JJ（略）采購(gòu)類型：貨物類開(kāi)始時(shí)間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）項(xiàng)目預(yù)算（略）：（略）,（略）.（略）結(jié)束時(shí)間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）--一、基本信息競(jìng)價(jià)編號(hào)：JJ（略）項(xiàng)目名稱：多（略）項(xiàng)目預(yù)算（略）：（略）,（略）.（略）報(bào)價(jià)方式：總價(jià)報(bào)價(jià)采購(gòu)單位：（略）聯(lián)系人：（略）*最少報(bào)價(jià)家數(shù)：3聯(lián)系電話：******聯(lián)系手機(jī)：******（略）：******異議反饋：******開(kāi)始時(shí)間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）截止時(shí)間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）要求：本項(xiàng)目要求報(bào)價(jià)時(shí)（略）聯(lián)系電話（異議）（略）：貨物類開(kāi)始時(shí)間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）項(xiàng)目預(yù)算（略）：（略）,（略）.（略）結(jié)束時(shí)間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）--二、資格條件資格條件（略）要求付款方式：合同簽訂后7個(gè)工作日內(nèi)，乙方向甲方提交合同總金額的（不超過(guò)（略）%，據(jù)實(shí)確定）的履約保證金，乙方開(kāi)具合同金額（略）%的增值稅專用發(fā)票，甲方在收到履約保證金后，向乙方（略）合同總金額的（略）%的預(yù)付款；設(shè)備具備交付條件完成工廠驗(yàn)收或貨到項(xiàng)目（略）并組裝完畢，乙方開(kāi)具合同金額（略）%的增值稅專用發(fā)票，甲方向乙方（略）合同總金額的（略）%貨款；雙方組織驗(yàn)收后（略）個(gè)工作日內(nèi)，乙方開(kāi)具合同金額（略）%的增值稅專用發(fā)票，甲方向乙方（略）合同總金額（略）%的貨款；履約保證金在驗(yàn)收合格后返還乙方。交付時(shí)間：簽訂合同后（略）天送貨。交付地址：（略）8號(hào)，（略）（（略））內(nèi)采購(gòu)人指定地點(diǎn)。質(zhì)保期及售后要求：1、質(zhì)保期：提供至少一年的儀器設(shè)備的免費(fèi)保修期（保修期內(nèi)免費(fèi)維修并更換除消耗品以外的（略）部件，維修（略）費(fèi)、食宿等自理）。2、售后服務(wù)要求：1）免費(fèi)送貨到指定地點(diǎn)，免費(fèi)安調(diào)試。2）為本項(xiàng)目（略）個(gè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)所在地，有專業(yè)技術(shù)服務(wù)資質(zhì)，技術(shù)支持人員數(shù)量不低于2人，綜合素質(zhì)及專業(yè)水平優(yōu)良；3）售后服務(wù)電話響應(yīng)時(shí)間不超過(guò)4小時(shí)，到場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間在兩個(gè)工作日內(nèi)；4）免費(fèi)提供技術(shù)支持熱線電話；5）免費(fèi)提供email技術(shù)支持，并且在（略）小時(shí)內(nèi)回復(fù)；6）提供該設(shè)備的技術(shù)使用說(shuō)明書(shū)及外購(gòu)配件儀器說(shuō)明書(shū)，并指導(dǎo)在使用該設(shè)備時(shí)的操作注意事項(xiàng)等；7）提供至少一年的配套（略）免費(fèi)升級(jí)服務(wù)。其他要求：1、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：供應(yīng)商應(yīng)保證在要求時(shí)間內(nèi)完成全部貨物的供貨、安裝、調(diào)試和培訓(xùn)工作,符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)規(guī)范和合同等相關(guān)文件的要求。貨物安裝完成正常運(yùn)行（略）天后，由供貨商提出驗(yàn)收申請(qǐng)，項(xiàng)目單位同意（略）驗(yàn)收的權(quán)限，相關(guān)部門及人員形成驗(yàn)收小組，驗(yàn)收小組根據(jù)采購(gòu)文件、投標(biāo)文件、合同等項(xiàng)目文件約定內(nèi)容對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行綜合運(yùn)行驗(yàn)收。如驗(yàn)收達(dá)不到要求，采購(gòu)人有權(quán)要求更換貨物或拒絕付款，成交供應(yīng)商若違約，采購(gòu)人將依法追究相應(yīng)法律責(zé)任。2、節(jié)能、環(huán)保要求：符合國(guó)家和地方標(biāo)準(zhǔn)。--報(bào)價(jià)人資格條件：無(wú)--備注：--各有關(guān)當(dāng)事人對(duì)競(jìng)價(jià)成交結(jié)果有異議的，可以在競(jìng)價(jià)結(jié)果公告發(fā)布之日起3天內(nèi)提起異議，逾期將視為無(wú)異議，不予受理。--四、技術(shù)要求項(xiàng)目名稱：多（略）--序號(hào)標(biāo)的名稱數(shù)量計(jì)量單位生產(chǎn)廠商品牌型號(hào)規(guī)格產(chǎn)品類別型號(hào)--是否限定品牌技術(shù)要求1磁控濺射鍍膜儀設(shè)備1.（略）套速普儀器DSC（略）是1.真空腔體1.1模塊化設(shè)計(jì)的圓柱腔室鋁合金腔體，內(nèi)腔尺寸不小于（略）mm直徑×（略）mm高。1.2可以互換安裝多種尺寸類型的磁控陰極等沉積源以及電子源或等離子體清洗源。1.（略）個(gè)不小于（略）mm石英玻璃觀察窗和艙門。觀察窗帶有手動(dòng)耦合開(kāi)啟的觀察窗擋板。1.4用于安裝真空泵、真空計(jì)、進(jìn)樣室以及其他儀器的接口，并盡可能配有空余的備用法蘭口。2（略）2.1前級(jí)泵采用抽速不低于8m3h的一線品牌旋片泵2.2主泵采用抽速不低于（略）LS的一線進(jìn)口品牌（略）子泵，（略）子泵轉(zhuǎn)速可調(diào)。2.3潔（略）的極限壓強(qiáng)可達(dá)≤3×（略）-4Pa；2.4真空抽速：潔凈腔體，從大氣抽到3*（略）-3Pa的時(shí)間≤（略）鐘。3（略）3.1工藝腔體配有進(jìn)口品牌全量程真空計(jì)，測(cè)量范圍為大氣至（略）-8Torr，自動(dòng)量程切換。3.2主泵和前級(jí)泵之間配有皮拉尼真空計(jì)進(jìn)行（略）子泵前級(jí)壓力監(jiān)控互鎖。3.3以上真（略）上顯示。4（略）4.1配備1組3英寸靶槍模塊（含2只濺射陰極）。同時(shí)帶自動(dòng)擋板設(shè)置，可以有效防止靶材交叉污染，以及根據(jù)工藝需求獨(dú)立控制開(kāi)啟。4.2不同靶槍模組之間可以根據(jù)不同工藝需求進(jìn)行更換。4.3靶槍采用水冷，冷卻水和磁鋼不直接接觸，（略）模塊采用模塊化設(shè)計(jì)，方便更換不同磁場(chǎng)設(shè)計(jì)類（略）。4.4靶槍工作壓強(qiáng)典型值～0.2-1Pa4.5配備1臺(tái)功率不小于（略）W的高性能DC磁控電源，可恒功率、恒電流和恒電壓模式。4.6配備1臺(tái)功率不小于（略）W的高性能RF磁控電源，可恒功率壓模式，自動(dòng)匹配。5（略）5.1至少支持2（略）工作氣體（氬氣、氮?dú)狻⒀鯕?、氫氣等氣體）。使用（略）或（略）Sccm量程數(shù)字式氣體流量計(jì)（MFC）控制工作氣體，氣體質(zhì)量流量計(jì)控制精度優(yōu)于±1%；5.2采用潔凈不（略）和配備相應(yīng)電磁截止閥。6.樣品臺(tái)6.1樣品尺寸：適合基片尺寸不小于6英寸直徑。6.2（略）可以加裝偏壓設(shè)計(jì)6.3（略）采用（略）+磁流體密封+波紋管模組，可以實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)自動(dòng)上下升降（可調(diào)范圍不低于（略）mm），以及樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)（速度0-（略）RPM可調(diào)）7（略）7.1采用先進(jìn)的嵌（略）方案，采用電容式觸摸屏電腦人機(jī)界面交互。7.2工控（略）具有手動(dòng)模式和自動(dòng)執(zhí)行模式可選。能夠通（略）真空，工藝氣體流量、濺射功率、濺射時(shí)間等工藝參數(shù)及工藝過(guò)程歷史數(shù)據(jù)、報(bào)警的記錄及顯示。7.3提供（略）工藝菜單編輯（略）?？梢詫?shí)現(xiàn)工藝菜單靈活編輯（可以在工藝編輯（略）進(jìn)行模塊化的工藝菜單編輯）+工藝菜單自動(dòng)控制執(zhí)行模式（載入工藝菜單，支持實(shí)（略）絡(luò)控制鍍膜）。7.4（略）、電源等關(guān)鍵部件存在安全互鎖等功能，操作（略）應(yīng)具備帶多（略）故障自檢功能和提示報(bào)警功能8.工藝要求8.1可以根據(jù)工藝需求，提供不同磁場(chǎng)設(shè)（略）模塊，以調(diào)（略）等離子體參數(shù)。8.2提供常規(guī)金屬基礎(chǔ)工藝，可以實(shí)現(xiàn)6英寸范圍內(nèi)，不低于+-5%均勻性要求。9（略）9.1（略）需要冷卻的部件均有水冷，如靶槍、（略）子泵等，截止閥（略），設(shè)備配有必須的冷卻水安全互鎖設(shè)計(jì)，以保護(hù)設(shè)備。9.2（略），用戶無(wú)（略）。（略）.供電及其他（略）.1設(shè)備安裝條件要求低，可以使用（略）V、（略）Hz供電，配緊急停車（略），相應(yīng)的安全互鎖裝置，（略）機(jī)功率不超過(guò)3KW。（略）.2（略）體設(shè)備設(shè)計(jì)緊湊，占地面積~1m（略）.3噪音低于（略）貝DSC（略）--技術(shù)要求：1.真空腔體1.1模塊化設(shè)計(jì)的圓柱腔室鋁合金腔體，內(nèi)腔尺寸不小于（略）mm直徑×（略）mm高。1.2可以互換安裝多種尺寸類型的磁控陰極等沉積源以及電子源或等離子體清洗源。1.（略）個(gè)不小于（略）mm石英玻璃觀察窗和艙門。觀察窗帶有手動(dòng)耦合開(kāi)啟的觀察窗擋板。1.4用于安裝真空泵、真空計(jì)、進(jìn)樣室以及其他儀器的接口，并盡可能配有空余的備用法蘭口。2（略）2.1前級(jí)泵采用抽速不低于8m3h的一線品牌旋片泵2.2主泵采用抽速不低于（略）LS的一線進(jìn)口品牌（略）子泵，（略）子泵轉(zhuǎn)速可調(diào)。2.3潔（略）的極限壓強(qiáng)可達(dá)≤3×（略）-4Pa；2.4真空抽速：潔凈腔體，從大氣抽到3*（略）-3Pa的時(shí)間≤（略）鐘。3（略）3.1工藝腔體配有進(jìn)口品牌全量程真空計(jì)，測(cè)量范圍為大氣至（略）-8Torr，自動(dòng)量程切換。3.2主泵和前級(jí)泵之間配有皮拉尼真空計(jì)進(jìn)行（略）子泵前級(jí)壓力監(jiān)控互鎖。3.3以上真（略）上顯示。4（略）4.1配備1組3英寸靶槍模塊（含2只濺射陰極）。同時(shí)帶自動(dòng)擋板設(shè)置，可以有效防止靶材交叉污染，以及根據(jù)工藝需求獨(dú)立控制開(kāi)啟。4.2不同靶槍模組之間可以根據(jù)不同工藝需求進(jìn)行更換。4.3靶槍采用水冷，冷卻水和磁鋼不直接接觸，（略）模塊采用模塊化設(shè)計(jì)，方便更換不同磁場(chǎng)設(shè)計(jì)類（略）。4.4靶槍工作壓強(qiáng)典型值～0.2-1Pa4.5配備1臺(tái)功率不小于（略）W的高性能DC磁控電源，可恒功率、恒電流和恒電壓模式。4.6配備1臺(tái)功率不小于（略）W的高性能RF磁控電源，可恒功率壓模式，自動(dòng)匹配。5（略）5.1至少支持2（略）工作氣體（氬氣、氮?dú)?、氧氣、氫氣等氣體）。使用（略）或（略）Sccm量程數(shù)字式氣體流量計(jì)（MFC）控制工作氣體，氣體質(zhì)量流量計(jì)控制精度優(yōu)于±1%；5.2采用潔凈不（略）和配備相應(yīng)電磁截止閥。6.樣品臺(tái)6.1樣品尺寸：適合基片尺寸不小于6英寸直徑。6.2（略）可以加裝偏壓設(shè)計(jì)6.3（略）采用（略）+磁流體密封+波紋管模組，可以實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)自動(dòng)上下升降（可調(diào)范圍不低于（略）mm），以及樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)（速度0-（略）RPM可調(diào)）7（略）7.1采用先進(jìn)的嵌（略）方案，采用電容式觸摸屏電腦人機(jī)界面交互。7.2工控（略）具有手動(dòng)模式和自動(dòng)執(zhí)行模式可選。能夠通（略）真空，工藝氣體流量、濺射功率、濺射時(shí)間等工藝參數(shù)及工藝過(guò)程歷史數(shù)據(jù)、報(bào)警的記錄及顯示。7.3提供（略）工藝菜單編輯（略）?？梢詫?shí)現(xiàn)工藝菜單靈活編輯（可以在工藝編輯（略）進(jìn)行模塊化的工藝菜單編輯）+工藝菜單自動(dòng)控制執(zhí)行模式（載入工藝菜單，支持實(shí)（略）絡(luò)控制鍍膜）。7.4（略）、電源等關(guān)鍵部件存在安全互鎖等功能，操作（略）應(yīng)具備帶多（略）故障自檢功能和提示報(bào)警功能8.工藝要求8.1可以根據(jù)工藝需求，提供不同磁場(chǎng)設(shè)（略）模塊，以調(diào)（略）等離子體參數(shù)。8.2提供常規(guī)金屬基礎(chǔ)工藝，可以實(shí)現(xiàn)6英寸范圍內(nèi)，不低于+-5%均勻性要求。9（略）9.1（略）需要冷卻的部件均有水冷，如靶槍、（略）子泵等，截止閥（略），設(shè)備配有必須的冷卻水安全互鎖設(shè)計(jì)，以保護(hù)設(shè)備。9.2（略），用戶無(wú)（略）。（略）.供電及其他（略）.1設(shè)備安裝條件要求低，可以使用（略）V、（略）Hz供電，配緊急停車（略），相應(yīng)的安全互鎖裝置，（略）機(jī)功率不超過(guò)3KW。（略）.2（略）體設(shè)備設(shè)計(jì)緊湊，占地面積~1m（略）.3噪音低于（略）貝售后服務(wù)：--五、附件序號(hào)附件名稱（略）時(shí)間大小操作本人已閱讀并同意《供應(yīng)商報(bào)價(jià)須知》--免責(zé)聲明--本頁(yè)面提供的內(nèi)容由采購(gòu)（略）及其運(yùn)營(yíng)單位對(duì)其內(nèi)容概不負(fù)責(zé)，亦不承擔(dān)任何（略）授權(quán)，嚴(yán)禁以任何（略）數(shù)據(jù)，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)，依法追究法律責(zé)任。成交后如無(wú)法滿足采購(gòu)人需求或惡意報(bào)價(jià)的，將不予退回競(jìng)價(jià)保證金。我已確認(rèn)已知（略）：http:（略）.cn