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采購內(nèi)容:自由曲面測試儀；主要功能或目標(biāo):1.主要功能： 1.1采用多波長干涉方式測量（略）件面型，提供理論和實(shí)測曲線（略）析； 1.2可進(jìn)行平面、球面、非球面、自由曲面的三維形貌測量； 1.3可進(jìn)行曲率半徑測量； 1.4具備三維參數(shù)（略）析功能，該參數(shù)必須包括但不限于：PV/PV（略）、Astigmatism、RMS、Slop，顯示誤差圖的三維影像。 1.5有自動消傾斜和偏心校正功能； 1.6支持被測件方程及參數(shù)的輸入，并提供測量對比結(jié)果報(bào)告； 1.7可檢測面型：球面、非球面、衍射面和自由曲面； 衍射面溝槽深度大于（略）微米； 1.8測量方式：針對圓形、矩形、橢圓形、多邊形、不規(guī)則形狀等輪廓的面形均可進(jìn)行非拼接連續(xù)測量，以保證測量精度及一致性； 1.9可針對深寬比較大的小口徑光學(xué)模具測量，滿足口徑≤（略）mm，曲率半徑（略）mm 的凹球面測量； 2.技術(shù)規(guī)格、精度指標(biāo)： 2.1最大測量尺寸：Φ（略）mm； 2.2面型測量精度：≤（略）nm(PV值)，重復(fù)精度≤（略）nm； 2.3曲率半徑測量精度：≤0.（略）um (一英寸標(biāo)準(zhǔn)小球)； 2.4最大測量傾斜（略）： 凸面（略）°，凹面（略）°； 2.5最大測量矢高：≤（略）mm； 2.6被測件最大重量：≤（略）Kg； 2.7（略）析：具備3D表面可視化、可調(diào)（略）橫斷面、2D顯示圖、濾波器 (LPF、HPF、高斯)、 最佳擬合半徑、非球面擬合、消傾斜和偏離補(bǔ)償、擬合去除、切向和徑向誤差；顯示相關(guān)參數(shù)，包括Power、PV、RMS、Slop和Zernicke等的數(shù)值、測量報(bào)告 (支持SBF、PDF、JPEG等多種輸出格式)的功能； 2.8 數(shù)據(jù)輸出：數(shù)據(jù)輸入輸出格式可與dat、datx、xyz格式、4D 、Zeiss、等面形（略）析處理（略）數(shù)據(jù)格式兼容通用；同時(shí)可以輸出主流光學(xué)加工設(shè)備的輸入格式，用于過程面形修正；還可以輸出Zemax、CodeV等光學(xué)設(shè)計(jì)（略）輸入格式，用于設(shè)計(jì)模型修正。；需滿足的要求:可用于對旋轉(zhuǎn)對稱和非旋轉(zhuǎn)對稱表面進(jìn)行精密的非接觸式3D形狀測量，如非球面、球面、平面和自由曲面等。。

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