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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2024-12-16在采購與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 石英和碳化硅耗材一批（XF-WSBX-2400637）采購公告。現(xiàn)邀請全國供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請及時聯(lián)系項目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 打印公告石英和碳化硅耗材一批（（略）F-WSB（略）-（略））采購公告發(fā)布時間：（略）-（略）-（略）:（略）:（略）閱讀量：（略）?次項目名稱石英和碳化硅耗材一批項目編號（略）F-WSB（略）-（略）公告開始日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）公告截止日期（略）-（略）-（略）:（略）:（略）采購單位浙江大學(xué)付款方式貨到付款，甲方在到貨驗收后（略）日內(nèi)向乙方一次性（略）本項目的總額聯(lián)系人成交后在我參與的項目中查看聯(lián)系電話成交后在我參與的項目中查看簽約時間要求成交后1個工作日內(nèi)到貨時間要求成交后3個工作日內(nèi)預(yù)算總價￥（略）.（略）+NaN+NaN發(fā)票要求增值稅普通發(fā)票增值稅專用發(fā)票含稅要求送貨要求安裝要求收貨地（略）浙江（略）A（略）采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件公告說明采購清單1采購商品采購數(shù)量計量單位所屬（略）類碳化硅邊界環(huán)1件其他礦與礦物無無品牌品牌1型號（略）-（略）,EDGERING,（略）MMO（略）IDIZEDUNIRING,AMATVantage；"功能及用途：在反應(yīng)腔體中承載硅片，為得到更好的退火均勻性，邊界環(huán)在反應(yīng)腔體中需以特定旋轉(zhuǎn)速率旋轉(zhuǎn)。因碳化硅極強的熱傳導(dǎo)性能才能保證硅片與邊界環(huán)接觸的部（略）不會被傳導(dǎo)熱量。規(guī)格：厚度0.1cm*內(nèi)徑（略）cm*外徑（略）cm，熔點：（略）°C，密度：3.（略）gcm3-3.（略）gcm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介電常數(shù)：9-（略），熱導(dǎo)率：（略）-（略）Wm·K，晶格常數(shù)a=3.（略）？，c=（略）.（略）？，折射率no=2.（略），ne=2.（略）"品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價￥?（略）.（略）技術(shù)參數(shù)及配置要求（略）-（略）,EDGERING,（略）MMO（略）IDIZEDUNIRING,AMATVantage；"功能及用途：在反應(yīng)腔體中承載硅片，為得到更好的退火均勻性，邊界環(huán)在反應(yīng)腔體中需以特定旋轉(zhuǎn)速率旋轉(zhuǎn)。因碳化硅極強的熱傳導(dǎo)性能才能保證硅片與邊界環(huán)接觸的部（略）不會被傳導(dǎo)熱量。規(guī)格：厚度0.1cm*內(nèi)徑（略）cm*外徑（略）cm，熔點：（略）°C，密度：3.（略）gcm3-3.（略）gcm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介電常數(shù)：9-（略），熱導(dǎo)率：（略）-（略）Wm·K，晶格常數(shù)a=3.（略）？，c=（略）.（略）？，折射率no=2.（略），ne=2.（略）"參考鏈接售后服務(wù)采購清單2采購商品采購數(shù)量計量單位所屬（略）類石英窗1件其他礦與礦物無無品牌品牌1型號（略）-（略）,OuartzWindowISSG,AMATCentruaACPRTPRadiancePlus；"功能及用途：隔絕燈泡和工藝腔體，高純石英利于熱傳導(dǎo)。規(guī)格:厚度0.9cm*直徑（略）cm。材料純度:高純度（略）.（略）%，折射率：1.（略），表面平（略）度誤差不得大于2mm，平面度誤差不得大于1.5mmm，直（略）度誤差不得大于0.2mmm莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價￥?（略）.（略）技術(shù)參數(shù)及配置要求（略）-（略）,OuartzWindowISSG,AMATCentruaACPRTPRadiancePlus；"功能及用途：隔絕燈泡和工藝腔體，高純石英利于熱傳導(dǎo)。規(guī)格:厚度0.9cm*直徑（略）cm。材料純度:高純度（略）.（略）%，折射率：1.（略），表面平（略）度誤差不得大于2mm，平面度誤差不得大于1.5mmm，直（略）度誤差不得大于0.2mmm莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"參考鏈接售后服務(wù)采購清單3采購商品采購數(shù)量計量單位所屬（略）類石英閥板2件其他礦與礦物無無品牌品牌1型號（略）-（略）,SlitValvePlateWO-ring,AMATCentruaACPRTPRadiancePlus；"功能及用途：隔絕外界和工藝腔體，在工藝開始前和結(jié)束后，打開閥板以便機械手臂刀板傳送硅片進出反應(yīng)腔體。規(guī)格:厚度0.9cm*直徑（略）cm。材料純度:高純度（略）.（略）%。品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價￥?（略）.（略）技術(shù)參數(shù)及配置要求（略）-（略）,SlitValvePlateWO-ring,AMATCentruaACPRTPRadiancePlus；"功能及用途：隔絕外界和工藝腔體，在工藝開始前和結(jié)束后，打開閥板以便機械手臂刀板傳送硅片進出反應(yīng)腔體。規(guī)格:厚度0.9cm*直徑（略）cm。材料純度:高純度（略）.（略）%，折射率：1.（略），表面平（略）度誤差不得大于2mm，平面度誤差不得大于1.5mmm，直（略）度誤差不得大于0.2mmm莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"參考鏈接售后服務(wù)采購清單4采購商品采購數(shù)量計量單位所屬（略）類石英高溫計1件其他礦與礦物無無品牌品牌1型號AMATCenturaACP,（略）-（略）,Pyrometer；"功能及用途：通過探針收集黑體輻射數(shù)據(jù)再調(diào)節(jié)燈泡功率以達到精準(zhǔn)控溫。規(guī)格:長度（略）cm*直徑0.3cm。材料純度:高純度（略）.（略）%，折射率：1.（略），表面平（略）度誤差不得大于2mm，平面度誤差不得大于1.5mmm，直（略）度誤差不得大于0.2mmm莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價￥?（略）.（略）技術(shù)參數(shù)及配置要求AMATCenturaACP,（略）-（略）,Pyrometer；"功能及用途：通過探針收集黑體輻射數(shù)據(jù)再調(diào)節(jié)燈泡功率以達到精準(zhǔn)控溫。規(guī)格:長度（略）cm*直徑0.3cm。材料純度:高純度（略）.（略）%，折射率：1.（略），表面平（略）度誤差不得大于2mm，平面度誤差不得大于1.5mmm，直（略）度誤差不得大于0.2mmm莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"參考鏈接售后服務(wù)采購清單5采購商品采購數(shù)量計量單位所屬（略）類石英探針1件其他礦與礦物無無品牌品牌1型號（略）-（略）,REFLECTORPLATEPROBEINJECT,AMATCentruaACPISSG；"功能及用途：腔體進入快速熱退火工藝后，燈泡快速升溫照射，收集透過硅片后產(chǎn)生的黑體輻射。規(guī)格:長度（略）cm*直徑0.3cm。材料純度:高純度（略）.（略）%，折射率：1.（略），表面平（略）度誤差不得大于2mm，平面度誤差不得大于1.5mmm，直（略）度誤差不得大于0.2mmm莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價￥?（略）.（略）技術(shù)參數(shù)及配置要求（略）-（略）,REFLECTORPLATEPROBEINJECT,AMATCentruaACPISSG；"功能及用途：腔體進入快速熱退火工藝后，燈泡快速升溫照射，收集透過硅片后產(chǎn)生的黑體輻射。規(guī)格:長度（略）cm*直徑0.3cm。材料純度:高純度（略）.（略）%，折射率：1.（略），表面平（略）度誤差不得大于2mm，平面度誤差不得大于1.5mmm，直（略）度誤差不得大于0.2mmm莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"參考鏈接售后服務(wù)采購清單6采購商品采購數(shù)量計量單位所屬（略）類石英頂針1件其他礦與礦物無無品牌品牌1型號AMATCenturaACP,（略）-（略）,ASSY,BELLOWS,LIFTPIN；"功能及用途：硅片進入反應(yīng)腔體時承載硅片，通過垂直下降將硅片落入邊界環(huán)中，通過垂直上升舉起硅片，以便于機械臂刀板抓取硅片。規(guī)格:長度（略）cm*直徑0.3cm，表面磨砂處理，減少光反射。材料純度:高純度（略）.（略）%，莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價￥?（略）.（略）技術(shù)參數(shù)及配置要求AMATCenturaACP,（略）-（略）,ASSY,BELLOWS,LIFTPIN；"功能及用途：硅片進入反應(yīng)腔體時承載硅片，通過垂直下降將硅片落入邊界環(huán)中，通過垂直上升舉起硅片，以便于機械臂刀板抓取硅片。規(guī)格:長度（略）cm*直徑0.3cm，表面磨砂處理，減少光反射。材料純度:高純度（略）.（略）%，莫氏硬度：5.5-6.5Mohs'Scale（略）KHN（略），熱膨脹系數(shù)（（略）℃-（略）℃）：5.5x（略）-7cmcm？°C，（略）℃的導(dǎo)熱系數(shù)：1.4Wm？°C，軟化點：（略）°C，退火點：（略）°C，應(yīng)力變化點：（略）°C"參考鏈接售后服務(wù)采購清單7采購商品采購數(shù)量計量單位所屬（略）類碳化硅反射板1件其他礦與礦物無無品牌品牌1型號（略）-（略）,REFLECTORPLATE,INJECT,（略）MMRADIANCE,AMATVantage；"功能及用途：置于反應(yīng)腔體底部，表面特殊的熱反射涂層（主要含無機材料如SiO2、MgF2、Al2O3、TiO2、ZrO2等）具有特定的折射率，通過精確控制涂層的厚度和折射率，可以使得不同波長的光線在涂層表面發(fā)生相消干涉，從而減少反射光的強度，提高透光性能。規(guī)格：厚度2.2cm*直徑（略）cm，熔點：（略）°C，密度：3.（略）gcm3-3.（略）gcm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介電常數(shù)：9-（略），熱導(dǎo)率：（略）-（略）Wm·K，晶格常數(shù)a=3.（略）？，c=（略）.（略）？，折射率no=2.（略），ne=2.（略）"品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價￥?（略）.（略）技術(shù)參數(shù)及配置要求（略）-（略）,REFLECTORPLATE,INJECT,（略）MMRADIANCE,AMATVantage；"功能及用途：置于反應(yīng)腔體底部，表面特殊的熱反射涂層（主要含無機材料如SiO2、MgF2、Al2O3、TiO2、ZrO2等）具有特定的折射率，通過精確控制涂層的厚度和折射率，可以使得不同波長的光線在涂層表面發(fā)生相消干涉，從而減少反射光的強度，提高透光性能。規(guī)格：厚度2.2cm*直徑（略）cm，熔點：（略）°C，密度：3.（略）gcm3-3.（略）gcm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介電常數(shù)：9-（略），熱導(dǎo)率：（略）-（略）Wm·K，晶格常數(shù)a=3.（略）？，c=（略）.1